目次
1 半導体工業の歴史と集積回路
2 集積回路の種類
3 モノリシック集積回路のあらまし
4 pn接合とMOS構造
5 半導体モノリシックICの製造技術
6 半導体モノリシックICの構成素子
7 半導体モノリシックICのパターン設計
著者等紹介
永田穰[ナガタミノル]
1956年東京大学工学部電気工学科卒業。1956年(株)日立製作所入社。1966年工学博士(東京大学)。1972年同社中央研究所第3部長。1975年同社中央研究所主管研究員。1985年同社理事、中央研究所技師長。1995年同社理事、研究開発推進本部技師長。1998年同社名誉嘱託
柳井久義[ヤナイヒサヨシ]
1942年東京大学工学部電気工学科卒業。1953年工学博士(東京大学)。1960年東京大学教授。1981年東京大学名誉教授、芝浦工業大学教授、東京芝浦電気(株)総合研究所顧問。1986年芝浦工業大学学長。1991年芝浦工業大学名誉教授。1995年逝去(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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