出版社内容情報
【解説】
真空技術の原理を簡潔・明確に解説。重要な基本原理を柱に,装置,材料,方法の長・短所を比較解説。
【目次】
真空と真空技術・コンダクタンスとポンプの排気速度・真空ポンプ・圧力の測定・材料と装置設計・超高真空・真空技術の応用
目次
1 真空と真空技術
2 コンダクタンスとポンプの排気速度
3 真空ポンプ
4 圧力の測定
5 材料と装置設計
6 超高真空
7 真空技術の応用
【解説】
真空技術の原理を簡潔・明確に解説。重要な基本原理を柱に,装置,材料,方法の長・短所を比較解説。
【目次】
真空と真空技術・コンダクタンスとポンプの排気速度・真空ポンプ・圧力の測定・材料と装置設計・超高真空・真空技術の応用
1 真空と真空技術
2 コンダクタンスとポンプの排気速度
3 真空ポンプ
4 圧力の測定
5 材料と装置設計
6 超高真空
7 真空技術の応用