内容説明
最近特に要求の高まっている「精度を要する機構の設計」がどのような考え方、手法、技術によってなされているか具体例とともにやさしく解説した。
目次
精密位置決め機構(精密位置決めのダイナミクス;精密位置決めの実際;ロボット機構)
情報機器の精密機構(計算機周辺機器の機構;光ディスク装置の機構;用紙のハンドリング機構)
光学装置の精密機構(カメラの機構;超精密光学機器)
精密回転機構(摩擦低減を目的とした回転機構;物の移動を目的とした回転機構;回転自体が目的の場合;精密回転機構の要素;回転体の力学)
精密機構のための超精密測定法(測定の対象、分解能、精度;超精密測定用レーザ干渉計;X線干渉計による超高分解能測定;走査形トンネル顕微鏡)