内容説明
真空技術の基礎から応用までポイントをわかりやすく解説。新版化にあたって、コンピュータ利用の成果や宇宙利用などの真空技術の新たな分野を付加し、さらに今後のSI単位の本格的導入に対応できる内容としました。
目次
第1章 基礎の考え方
第2章 真空ポンプの原理と実際
第3章 装置の排気
第4章 真空用の部品と材料
第5章 真空装置のもれともれ探し
第6章 真空計の原理と取扱い方
第7章 真空下の圧力測定法
第8章 残留ガスの分析
第9章 超高真空の技術
第10章 真空用語と換算表
真空技術の基礎から応用までポイントをわかりやすく解説。新版化にあたって、コンピュータ利用の成果や宇宙利用などの真空技術の新たな分野を付加し、さらに今後のSI単位の本格的導入に対応できる内容としました。
第1章 基礎の考え方
第2章 真空ポンプの原理と実際
第3章 装置の排気
第4章 真空用の部品と材料
第5章 真空装置のもれともれ探し
第6章 真空計の原理と取扱い方
第7章 真空下の圧力測定法
第8章 残留ガスの分析
第9章 超高真空の技術
第10章 真空用語と換算表