内容説明
ＬＳＩの基本から加工技術まで平易に解説した標準テキスト。ＬＳＩのすべてについて体系的に。半導体技術の中心、ＬＳＩプロセスをわかりやすく図・表を豊富に用いて解説。
目次
１章 概論（トランジスタの発明；集積回路の発明；ＬＳＩプロセス工学とは）
２章 ＬＳＩ構成要素の基本的働き
３章 ＬＳＩ構成部品の電気的性質
４章 ＬＳＩ製造の要素技術
５章 ＬＳＩ用微細加工技術―リソグラフィ技術
６章 ＬＳＩプロセス概要―豊田工業大学における実践例を中心として
７章 ＬＳＩプロセスを支える技術―豊田工業大学での実例を中心に
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- 和書
- 会津恋い鷹
