Reaktionsverhalten von Siliciumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen : Untersuchungen an Kristalloberflächen und Vergleich mit geeigneten Molekülsilanen (2011. 288 S. 220 mm)
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Reaktionsverhalten von Siliciumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen : Untersuchungen an Kristalloberflächen und Vergleich mit geeigneten Molekülsilanen (2011. 288 S. 220 mm)  Paperback

Patzig-Klein, Sebastian

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