MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開 フロンティアテクノシリーズ
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MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開 フロンティアテクノシリーズ

前田 龍太郎/澤田 廉士/青柳 桂一【編】

  • フロンティア出版(台東区)(2006/05発売)
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光マイクロマシン
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光マイクロマシン

沢田 廉士/羽根 一博/日暮 栄治【共著】

  • オーム社(2002/11発売)
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