出版社内容情報
光マイクロマシンの基礎から応用まで、すべてを解説！
内容説明
本書では、最新の光マイクロマシンを例にしながら、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や新しい光マイクロマシンの提案ならびに設計ができるための基礎を与えることができることに主眼をおいている。
目次
第１部 光マイクロマシン（光スイッチ、ミラーアレイ、減衰器；ディスプレイ、スキャナ；スペクトロメータ、波長可変光学素子 ほか）
第２部 光マイクロマシン光学（光の反射・屈折；干渉；回折 ほか）
第３部 材料、ファブリケーション、パッケージング（光学素子；ファブリケーション；表面理工学 ほか）
著者等紹介
沢田廉士［サワダレンシ］
１９７６年九州大学大学院工学研究科修士課程修了。１９９５年工学博士。現在、日本電信電話株式会社ＮＴＴマイクロシステムインテグレーション研究所
羽根一博［ハネカズヒロ］
１９８３年名古屋大学大学院工学研究科博士後期課程修了。１９８３年工学博士。現在、東北大学大学院工学研究科教授
日暮栄治［ヒグラシエイジ］
１９９１年東北大学大学院工学研究科博士前期課程修了。１９９９年工学博士。現在、日本電信電話株式会社ＮＴＴマイクロシステムインテグレーション研究所
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