内容説明
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走査電子顕微鏡（SEM）は、電子線で試料表面を走査することで、試料表面形状だけではなく、試料の元素組成や結晶方位、化学結合状態など、さまざまな情報を得られる手法であり、多様な試料の観察・分析に広く用いられている。本書はSEMの基礎的・理論的な解説から、多様な試料の種類ごとに試料の調整法や観察手法を実例とともに解説。さらに発展的なデータの機械学習による解析や自動化についても扱う。SEMの初心者からさまざまな分野での応用を検討している上級者まで、必携の一冊。
目次
1 走査電子顕微鏡（SEM）とは何か
1.1 なぜSEMで表面観察ができるのか
1.2 なぜSEMで分析ができるのか
1.3 SEMの歴史
2 SEMの像形成の基礎
2.1 二次電子・反射電子の発生
2.2 像のコントラスト
2.3 SEMのプローブ径
2.4 SEMの像分解能評価
3 SEMの装置
3.1 電子源と電子照射系
3.2 対物レンズと検出器
3.3 低真空観察・低加速電圧観察が可能な装置
3.4 付属装置（EDS, WDS, EBSD, CL, ラマン）
4 走査電子顕微鏡観察の実際
4.1 測定条件の設定
4.2 画像の取得
4.3 試料の準備
4.4 試料前処理
5 SEMの応用・発展
5.1 金属の観察
5.2 セラミックスの観察
5.3 高分子の観察
5.4 植物試料の観察
5.5 動物の観察
5.6 複合材料の観察（二次電池の観察）
5.7 半導体故障解析
5.8 ナノマテリアルの観察
6 発展的手法
6.1 データの数値化・機械学習の応用
6.2 集束イオンビーム（FIB）との併用・三次元像構築
6.3 自動化
索引
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- 和雑誌
- ワイン王国 （２０２６年１月号）
