二次イオン質量分析法 第2版

著者名：公益社団法人日本表面真空学会【編】

丸善出版（2025/06発売）

• ISBN：9784621311356

内容説明

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二次イオン質量分析法（SIMS）は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である。金属や半導体から高分子材料、 生体試料にも適用できる分析法として、多くの研究分野で活用されている。25年ぶりの大改訂となる本書では、重要性の高い基礎的な内容だけでなく、目的別の応用例を大幅に拡充。これからSIMSを使い始める学生はもちろん、現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊。

目次

1　二次イオン質量分析法（SIMS）とは何か
1.1　なぜSIMSで表面分析ができるのか
1.2　なぜSIMSで深さ方向分析ができるのか
1.3　なぜSIMSでイメージングができるのか
1.4　SIMSの歴史
1.5　SIMSで分析できる試料
2　 SIMSの原理
2.1　スパッタリング収率
2.2　二次イオン化率 と二次イオン収率
2.3　マトリックス効果
3　SIMS装置の基礎
3.1　装置の概略
3.2　一次イオン照射系
3.3　ガスクラスターイオンビーム（GCIB）
3.4　二次イオン質量分析計
3.5　高空間分解能SIMS
4　SIMSによる測定の実際
4.1　試料の準備
4.2　無機物の定性分析
4.3　有機物の定性分析
4.4　定量分析
4.5　深さ方向分析
4.6　二次元・三次元イメージング
5　SIMSの応用・発展
5.1　無機物・金属・半導体の測定および元素分析
5.2　有機物・高分子の測定
5.3　生体試料の測定
5.4　発展的手法
おわりに：これからのSIMS
索引