ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡

著者名：日本表面科学会【編】

丸善出版（2024/12発売）

• ISBN：9784621073612

内容説明

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走査電子顕微鏡（SEM）は、分解能的には光学顕微鏡と走査ブローブ顕微鏡の間に位置し、手軽な形状観察の手段であった。しかし、環境SEMや超低加速SEMなど、この分野にもブレイクスルーが起きていることに加え、そもそもの操作性の良さや、他の計測・加工法との複合化のしやすさなどから、ナノ計測・ナノ加工といったナノファクトリーの重要なツールとして近年新たな活路が見出されるようになってきている。本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新たな切り口における驚くべきSEMの能力と可能性について、実際の観察結果を多く織りまぜて解説する。底本2004年発行。

目次

１．走査電子顕微鏡の概要
２．装置と測定法
３．像形成と分解能
４．ナノマテリアルの観察
５．その場観察・複合観察
索引

感想・レビュー

※以下の感想・レビューは、株式会社ドワンゴの提供する「読書メーター」によるものです。

[MY Library]

SEM装置の構成、動作原理だけでなく、様々な観察事例が示される。内容は専門的で、ユーザーが実用的なSEMの操作技術を高める目的には本書は適さない。また内容が古い。

2016/05/11

[まっつー]

電子顕微鏡を勉強するために読んだ。

2015/12/04