内容説明
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『精密工学会誌』の連載「はじめての精密工学」を書籍化。精密工学会や精密工学分野に参画する研究者・技術者たちが，日本のものづくりの発展と若手研究者・技術者への貢献を目的に執筆しています。第3巻には，2003～2006年の記事を収録しています。
目次
1 光による形状計測
2 切削四話
3 小型化生産システム
4 知能化機械要素
5 無機系新素材（セラミックス）と精密工学分野での適用
6 幾何計測と不確かさ・事例としての座標計測
7 ガラスレンズの製造技術
8 ELID研削加工技術
9 XMLとは
10 静電力のメカトロニクスへの応用 ― 力の強い静電モータ ―
11 新しい精密工学用材料としてのバルク金属ガラス
12 メートルの話
13 曲線曲面の入門
14 放電加工の基礎と将来展望 ― I 基礎 ―
15 放電加工の基礎と将来展望 ― II 将来展望 ―
16 もう一度復習したい寸法公差・はめあい
17 もう一度復習したい幾何公差
18 特異な量“角度”とその標準
19 ハイテク技術を支える研磨加工
20 半導体デバイスプロセスにおけるCMP
21 幾何処理としてのCAM
22 分析について
23 3次元スキャニングデータからのメッシュ生成法
24 パラレルメカニズム
25 パラレルメカニズムの3次元座標測定機への応用
26 真空技術のカンどころ
27 精度設計とバリテクノロジー
28 圧電アクチュエータ ― 精密位置決めへの応用 ―
29 画像処理の基礎
30 表面張力の物理 ― MEMS応用デバイスについて ―
31 マイクロ流体デバイスによるバイオ分析
32 易しい？ 難しい？ 干渉計測
33 形状デジタルデータの品質とデータ交換の方法
34 精密位置決め制御の基礎
35 ラピッドプロトタイピング
