これからのMEMS:LSIとの融合

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紙書籍版価格 ¥2,860
  • Kinoppy

これからのMEMS:LSIとの融合

  • 著者名:江刺正喜/小野崇人
  • 価格 ¥2,860(本体¥2,600)
  • 森北出版(2017/02発売)
  • ポイント 26pt (実際に付与されるポイントはご注文内容確認画面でご確認下さい)
  • ISBN:9784627775510

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内容説明

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編.MEMSはシーズからニーズの時代へ.

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で,これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり,「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.

本書では,そうした応用やニーズ面,開発の実際などをおもに取り上げ,具体的に解説しています.

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が,MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.

目次

第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)
第2章 次世代携帯機器
第3章 センサネットワーク・高機能センサ
第4章 光マイクロシステム
第5章 バイオ・医療用マイクロシステム
第6章 製造・検査装置
第7章 高度化と有効活用への道