エレクトロニクス材料・技術シリーズ レーザーマイクロ・ナノプロセッシング

著者名：杉岡幸次/矢部明

シーエムシー出版（2004/11発売）

• ISBN：9784882314769
• NDC分類：549.95

内容説明

★　レーザープロセッシングおよびマイクロ・ナノテクノロジーの研究開発と産業化への指針。
★　マイクロ・ナノテクノロジー分野で重視すべきテーマを抽出！
★　各テーマにつき最新の内外の研究開発の現状の凝縮されたレビュー・課題と将来展望を各界の権威者が執筆！
★　常に研究技術者の座右にあって研究開発・技術の産業化に役立つよう編集！
※この商品は紙の書籍のページを画像にした電子書籍です。文字だけを拡大することはできませんので、予めご了承ください。試し読みファイルにより、ご購入前にお手持ちの端末での表示をご確認ください。

目次

第１編　レーザープロセッシング序論（レーザー装置の開発　レーザープロセッシングの経過　ほか）
第２編　レーザー装置の特徴とプロセッシングへの展開（エキシマレーザー　半導体励起固体レーザー　ほか）
第３編　研究開発の現状と将来産業技術への課題と展望（次世代材料創製　材料加工　ほか）
第４編　レーザー応用技術の展望（レーザー発振波長の短波長化　レーザー発振の短パルス化　ほか）