Micro Electro Mechanical System (MEMS) Technology for Multifaceted Applications

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Micro Electro Mechanical System (MEMS) Technology for Multifaceted Applications

Singh, Kamaljeet/ Karmakar, Ayan

ウェブストア価格 ¥38,519（本体¥35,018）
Springer Nature Switzerland AG（2025/07発売）
外貨定価 US$ 179.99
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 230 p.
言語 ENG
商品コード 9789819661619

Full Description

This book details simple methodology for the realization of the practical micro devices employed in general applications. This book covers basic of wafer, general micro devices such as micro-heater, temperature sensor, humidity sensor, gas sensor, pyro-device along with associated characterization, integration and assembly aspects.