Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

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Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

Cao, Huiliang

ウェブストア価格 ¥37,098（本体¥33,726）
Springer Verlag, Singapore（2023/05発売）
外貨定価 US$ 169.99
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 222 p.
言語 ENG
商品コード 9789811992469
DDC分類 681.753

Full Description

The design of gyrostructure, detection technology, orthogonal correction technology, the influence of temperature and the design of measurement and control system framework are introduced in detail, with illustrations for easy understanding.It presents the principle, structure and related technology of silicon-based MEMS gyroscope.