Numerische und experimentelle Untersuchung der Strömung sowie der chemischen Reaktionen in einem Prozessbecken für die H : Dissertationsschrift (Solare Energie- und Systemforschung) / Mohr, Lena/ Herausgegeben:Fraunhofer ISE, Freiburg/Brsg.

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Numerische und experimentelle Untersuchung der Strömung sowie der chemischen Reaktionen in einem Prozessbecken für die H : Dissertationsschrift (Solare Energie- und Systemforschung) （2021. 232 S. zahlr. Abb. und Tab. 21 cm）

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Numerische und experimentelle Untersuchung der Strömung sowie der chemischen Reaktionen in einem Prozessbecken für die H : Dissertationsschrift (Solare Energie- und Systemforschung) （2021. 232 S. zahlr. Abb. und Tab. 21 cm）

Mohr, Lena/ Herausgegeben:Fraunhofer ISE, Freiburg/Brsg.

ウェブストア価格 ¥19,791（本体¥17,992）
FRAUNHOFER VERLAG（2021発売）
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
商品コード 9783839617649

Description

(Short description)
Im Rahmen dieser Arbeit werden die strömungs- und reaktionsrelevanten Prozesse in einem nasschemischen Prozessbecken detailliert analysiert und so ein tiefes Verständnis der Vorgänge im Becken erarbeitet. Hierbei ist besonders wichtig, das gesamte System zu verstehen und herauszuarbeiten, welche Phänomene und Bauteile Inhomogenitäten auf der Waferoberfläche hervorrufen und wie diese zu beeinflussen sind.
(Text)
Im Rahmen dieser Arbeit werden die strömungs- und reaktionsrelevanten Prozesse in einem nasschemischen Prozessbecken detailliert analysiert und so ein tiefes Verständnis der Vorgänge im Becken erarbeitet. Hierbei ist besonders wichtig, das gesamte System zu verstehen und herauszuarbeiten, welche Phänomene und Bauteile Inhomogenitäten auf der Waferoberfläche hervorrufen und wie diese zu beeinflussen sind. Da die Strömung und die Reaktionsvorgänge während des Prozesses experimentell nicht zugänglich sind, werden die Vorgänge im Prozessbecken mittels Strömungs- und Reaktionsmodellierung erklärt. Dazu ist das Becken aufgrund der Komplexität in Partitionen zu unterteilen. Die partitionierten entwickelten Modelle werden an relevanten Stellen validiert. Referenzdaten aus vorherigen Arbeiten sowie Literaturdaten dienen beim Aufbau der Reaktionsmodellierung als Initialwerte.