Conception et réalisation de références de tensions a base de MEMS : Les MEMS au service de la métrologie : référence de tension alternative pour l instrumentation et les systèmes embarqués / Blard, Francois

Conception et réalisation de références de tensions a base de MEMS : Les MEMS au service de la métrologie : référence de tension alternative pour l instrumentation et les systèmes embarqués （2013. 168 S. 220 mm）

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Conception et réalisation de références de tensions a base de MEMS : Les MEMS au service de la métrologie : référence de tension alternative pour l instrumentation et les systèmes embarqués （2013. 168 S. 220 mm）

Blard, Francois

ウェブストア価格 ¥18,737（本体¥17,034）
PRESSES ACADÉMIQUES FRANCOPHONES（2013発売）
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
商品コード 9783838179964

Description

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont d excellents candidats pour la métrologie électrique. En effet, grâce au couplage électromécanique dans les MEMS, il est possible de réaliser des références secondaires de tension continue (DC) ou alternative (AC) ayant des valeurs de quelques volts à quelques centaines de volts avec des stabilités relatives pouvant atteindre quelques 10-7. Celles-ci peuvent alors être une alternative aux actuelles références Zener dans le cas de la tension continue, et constitueront une première pour la tension alternative puisque aucune référence n existe hormis celle basée sur l effet Josephson. Ce travail de thèse a été dédié au développement et à la fabrication de plusieurs générations de structures MEMS à capacité électrique variable dans lesquelles on exploite le phénomène du pull-in pour réaliser des références de tension AC.