Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten : Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik （2011. 192 S. 220 mm）

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Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten : Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik （2011. 192 S. 220 mm）

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  • 製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
  • 商品コード 9783838127873

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