Mikrosystemtechnik : Prozessschritte, Technologien, Anwendungen （2006）

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Mikrosystemtechnik : Prozessschritte, Technologien, Anwendungen （2006）

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  • 製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 274 p.
  • 言語 GER
  • 商品コード 9783835100039
  • DDC分類 621.381

Contents

Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.

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