Mikrosystemtechnik : Vom Transistor zum Biochip (Technik im Fokus)

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Mikrosystemtechnik : Vom Transistor zum Biochip (Technik im Fokus)

Büttgenbach, Stephanus

ウェブストア価格 ¥3,905（本体¥3,550）
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K（2016/11発売）
外貨定価 US$ 19.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 151 p.
言語 GER
商品コード 9783662497722
DDC分類 620

Full Description

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.