Sputtering by Particle Bombardment II : Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography (Topics in Applied Physics .52) / Herausgegeben von Behrisch, R.

Sputtering by Particle Bombardment II : Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography (Topics in Applied Physics .52) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1983. 2014. xiii, 394 S. XII）

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Sputtering by Particle Bombardment II : Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography (Topics in Applied Physics .52) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1983. 2014. xiii, 394 S. XII）

Herausgegeben von Behrisch, R.

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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
商品コード 9783662311691

Full Description

With contributions by numerous experts

and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.