Sputtering by Particle Bombardment III : Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications (Topics in Applied Physics .64) / Mitarbeit: Behrisch, R./ Hauffe, W./ Hofer, W.O./ Laegreid, N./ McClanahan, E.D./ Herausgegeben von Behrisch, Rainer/ Wittmaack, Klaus

Sputtering by Particle Bombardment III : Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications (Topics in Applied Physics .64) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1991. 2014. xv, 415 S. XV, 4）

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Sputtering by Particle Bombardment III : Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications (Topics in Applied Physics .64) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1991. 2014. xv, 415 S. XV, 4）

Mitarbeit: Behrisch, R./ Hauffe, W./ Hofer, W.O./ Laegreid, N./ McClanahan, E.D./ Herausgegeben von Behrisch, Rainer/ Wittmaack, Klaus

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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
商品コード 9783662311042

Full Description

Whereas the first two volumes deal primarily with physical aspects such as the theory of sputtering, experimentally observed sputtering yields and surface topography changes, this volume is devoted to the characteristic properties of the sputtered particles and technological applications of sputtering.