Sputtering by Particle Bombardment I : Physical Sputtering of Single-Element Solids (Topics in Applied Physics .47) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1981. 2014. xi, 284 S. XI, 2）

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Sputtering by Particle Bombardment I : Physical Sputtering of Single-Element Solids (Topics in Applied Physics .47) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1981. 2014. xi, 284 S. XI, 2）

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  • 製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
  • 商品コード 9783662308882

Full Description

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Contents

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

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