Silicon Anodization as a Structuring Technique : Literature Review, Modeling and Experiments

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Silicon Anodization as a Structuring Technique : Literature Review, Modeling and Experiments

Ivanov, Alexey

ウェブストア価格 ¥12,155（本体¥11,050）
Springer Vieweg（2017/09発売）
外貨定価 US$ 54.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 316 p.
商品コード 9783658192372

Full Description

Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed.

Silicon Anodization: State of the Art.- Experimental, Characterization and Simulation Methods.- Microscale Study of Anodization Process.- Anodization Process as a Structuring Technique: Experiments and Simulation.