Silicon Anodization as a Structuring Technique : Literature Review, Modeling and Experiments

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Silicon Anodization as a Structuring Technique : Literature Review, Modeling and Experiments

Ivanov, Alexey

ウェブストア価格 ¥12,387（本体¥11,261）
Springer Vieweg（2017/09発売）
外貨定価 US$ 54.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 316 p.
商品コード 9783658192372

Full Description

Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime.