Protonendotierung von Silizium : Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium （2014）

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Protonendotierung von Silizium : Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium （2014）

Laven, Johannes G

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Springer Vieweg（2014/10発売）
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 314 p.
言語 GER
商品コード 9783658073893
DDC分類 537.622

Full Description

Der Autor führt die Anforderungen und Grenzen der Protonendotierung aus und zeigt ein analytisches Modell zur Berechnung von Protonen-induzierten Dotierstoffprofilen in Abhängigkeit der Implantationsparameter sowie des thermischen Budgets.