Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Zhang, Y./ Chen, D.

Springer（2012/08発売）

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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 170 p.／サイズ 96 illus., 49 in color
商品コード 9783642317750

Full Description

This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.