Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS) （2011）

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Design and Manufacturing of Active Microsystems (Microtechnology and MEMS) （2011）

Büttgenbach, Stephanus (EDT)/ Burisch, Arne (EDT)/ Hesselbach, Jürgen (EDT)

ウェブストア価格 ¥38,163（本体¥34,694）
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K（2014/03発売）
外貨定価 US$ 169.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 444 p.
言語 ENG
商品コード 9783642267383
DDC分類 681

Full Description

This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle.