Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography (Nanoscience and Technology)

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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography (Nanoscience and Technology)

Shim, Seongbo/ Shin, Youngsoo

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Springer International Publishing AG（2018/04発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 138 p.
言語 ENG
商品コード 9783319762937

Full Description

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.