Nanopositioning Technologies : Fundamentals and Applications

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Nanopositioning Technologies : Fundamentals and Applications

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 409 p.
  • 商品コード 9783319238524

Full Description

This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning.

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