半導体の三次元集積化 Three-Dimensional Integration of Semiconductors : Processing, Materials, and Applications

半導体の三次元集積化<br>Three-Dimensional Integration of Semiconductors : Processing, Materials, and Applications

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半導体の三次元集積化
Three-Dimensional Integration of Semiconductors : Processing, Materials, and Applications

Kondo, Kazuo (EDT)/ Kada, Morihiro (EDT)/ Takahashi, Kenji (EDT)

ウェブストア価格 ¥24,313（本体¥22,103）
Springer International Publishing AG（2015/12発売）
外貨定価 US$ 109.99
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 408 p.
商品コード 9783319186740

Full Description

This book starts with background concerning three-dimensional integration - including their low energy consumption and high speed image processing - and then proceeds to how to construct them and which materials to use in particular situations. The book covers numerous applications, including next generation smart phones, driving assistance systems, capsule endoscopes, homing missiles, and many others. The book concludes with recent progress and developments in three dimensional packaging, as well as future prospects.

Research and Development History of Three Dimensional (3D) Integration Technology.- Recent Research and Development Activities of Three Dimensional (3D) Integration Technology.- TSV Processes.- Wafer and Die Bonding Processes.- Metrology and Inspection.- TSV Characteristics and Reliability: Impact of 3D Integration Processes on Device Reliability.- Trends in 3D Integrated Circuit (3D-IC) Testing Technology.- Dream Chip Project at ASET.