Levitation Micro-Systems : Applications to Sensors and Actuators (Microsystems and Nanosystems)

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Levitation Micro-Systems : Applications to Sensors and Actuators (Microsystems and Nanosystems)

Poletkin, Kirill

ウェブストア価格 ¥22,919（本体¥20,836）
Springer Nature Switzerland AG（2021/11発売）
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 174 p.
商品コード 9783030589103

Full Description

This book presents inductive and hybrid levitation micro-systems and their applications in micro-sensors and -actuators. It proposes and discusses analytical and quasi-finite element techniques for modeling levitation micro-systems based on the Lagrangian formalism. In particular, micro-bearings, -actuators, -accelerators and -accelerometers based on inductive levitation are comprehensively described with accompanying experimental measurements.

Introduction to levitation micro-systems.- Micro-fabrication techniques.- Analytical modelling.- Quasi-finite element modelling.- Inductive levitation micro-systems.- Hybrid levitation micro-systems.- Mechanical thermal noise in levitated micro-gyroscopes.