Process Variations in Microsystems Manufacturing (Microsystems and Nanosystems)

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Process Variations in Microsystems Manufacturing (Microsystems and Nanosystems)

Huff, Michael

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Springer Nature Switzerland AG（2020/04発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 521 p.
言語 ENG
商品コード 9783030405588

Full Description

This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps. The book places an emphasis on the process variations in the device dimensions resulting from these commonly used processing steps. This will be followed by coverage of commonly used metrology methods, process integration and variations in material properties, device parameter variations, quality assurance and control methods, and design methods for handling process variations. A detailed analysis of future methods for improved microsystems manufacturing is also included. This book is a valuable resource for practitioners, researchers and engineers working in the field as well as students at either the undergraduate or graduate level.

Introduction.- Overview of Microsystems Manufacturing.- Process Variations in Microsystems Processing Steps.- Microsystems Metrology Methods and Associated Errors.- Process Integration and Variations in Material Properties.- Device Parameter Variations in Microsystems Manufacturing.- Quality Assurance and Control Methods Used in Microsystems Manufacturing.- Design Methods for Handling Process Variations.- Future Methods for Improved Microsystems Manufacturing Process Variations.