Process Variations in Microsystems Manufacturing (Microsystems and Nanosystems)

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Process Variations in Microsystems Manufacturing (Microsystems and Nanosystems)

Huff, Michael

ウェブストア価格 ¥37,815（本体¥34,378）
Springer Nature Switzerland AG（2020/04発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 521 p.
言語 ENG
商品コード 9783030405588

Full Description

This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.