Rapid Thermal Processing of Semiconductors (Microdevices)

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Rapid Thermal Processing of Semiconductors (Microdevices)

Borisenko, Victor E./ Hesketh, Peter J.

ウェブストア価格 ¥55,260（本体¥50,237）
Springer-Verlag New York Inc.（2013/06発売）
外貨定価 US$ 249.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 358 p.
言語 ENG
商品コード 9781489918062
DDC分類 620

Full Description

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions.