Theory and Application of Laser Chemical Vapor Deposition (Lasers, Photonics, and Electro-optics)

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Theory and Application of Laser Chemical Vapor Deposition (Lasers, Photonics, and Electro-optics)

Mazumder, J./ Kar, Aravinda

ウェブストア価格 ¥35,662（本体¥32,420）
Springer-Verlag New York Inc.（2013/06発売）
外貨定価 US$ 169.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 396 p.
言語 ENG
商品コード 9781489914323
DDC分類 621

Full Description

In this monograph, the authors offer a comprehensive examination of the latest research on Laser Chemical Vapor Deposition (LCVD). Chapters explore the physics of LCVD as well as the principles of a wide range of related phenomena-including laser-matter interactions, heat transfer, fluid flow, chemical kinetics, and adsorption. With this reference, researchers will discover how to apply these principles to developing theories about various types of LCVD processes; gain greater insight into the basic mechanisms of LCVD; and obtain the ability to design and control an LCVD system.

1. Introduction.- 2. Pyrolytic LCVD.- 3. Photolytic LCVD.- 4. Pyrolytic LCVD Modeling.- 5. Photolytic LCVD Modeling.- A.1. Definitions of Energy Density, Irradiance, and Intensity.- A.2. Thermal Stress Analysis.- A.3. Volumetric Absorption Rate.- Nomenclature.- References.