半導体製造技術ハンドブック Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology

半導体製造技術ハンドブック<br>Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology

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半導体製造技術ハンドブック
Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology

Nishi, Yoshio (EDT)/ Doering, Robert (EDT)

ウェブストア価格 ¥39,968（本体¥36,335）
Marcel Dekker Inc（2000/08発売）
外貨定価 UK£ 130.00
ポイント 363pt

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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 1157 p.
言語 ENG
商品コード 9780824787837
DDC分類 621.38152

基本説明

Describes the individual processes and manufacturing control, support, and infrastructure technologies of silicon-based and integrated-circuit manufacturing, as well as applicable building devices of other semiconductor substrates.