MEMS材料・加工ハンドブック MEMS Materials and Processes Handbook (MEMS Reference Shelf)

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MEMS材料・加工ハンドブック<br>MEMS Materials and Processes Handbook (MEMS Reference Shelf)

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MEMS材料・加工ハンドブック
MEMS Materials and Processes Handbook (MEMS Reference Shelf)

Herausgegeben von Ghodssi, Reza/ Lin, Pinyen

Springer（2011/07発売）

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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 1188 p.／サイズ 200 illus.
言語 ENG
商品コード 9780387473161

基本説明

A comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on "Materials" and "Processes".

Full Description

MEMs Materials and Processes Handbook" is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication.