ナノスケール薄膜分析 Nanoscale Thin Film Analysis : Fundamentals and Techniques （2007. XX, 380 p. w. 100 figs.）

ナノスケール薄膜分析<br>Nanoscale Thin Film Analysis : Fundamentals and Techniques （2007. XX, 380 p. w. 100 figs.）

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ナノスケール薄膜分析
Nanoscale Thin Film Analysis : Fundamentals and Techniques （2007. XX, 380 p. w. 100 figs.）

Alford, Terry L/ Mayer, James W./ Feldman, L. C.

ウェブストア価格 ¥23,849（本体¥21,681）
springer（2007発売）
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 380 p.／サイズ 100 illus.
言語 ENG
商品コード 9780387292601

基本説明

A comprehensive treatment of the major characterization techniques used to analyze thin films from the micro- to nanoscale. Incorporates the use of X-ray fluorescence (XRF) in thin film analysis.

Full Description

Modern science and technology, from materials science to integrated circuit development, is directed toward the nanoscale. From thin films to field effect transistors, the emphasis is on reducing dimensions from the micro to the nanoscale. Fundamentals of Nanoscale Film Analysis concentrates on analysis of the structure and composition of the surface and the outer few tens to hundred nanometers in depth. It describes characterization techniques to quantify the structure, composition and depth distribution of materials with the use of energetic particles and photons.

The book describes the fundamentals of materials characterization from the standpoint of the incident photons or particles which interrogate nanoscale structures. These induced reactions lead to the emission of a variety of detected of particles and photons. It is the energy and intensity of the detected beams that is the basis of the characterization of the materials. The array of experimental techniques used in nanoscale materials analysis covers a wide range of incident particle and detected beam interactions.

Included are such important interactions as atomic collisions, Rutherford backscattering, ion channeling, diffraction, photon absorption, radiative and nonradiative transitions, and nuclear reactions. A variety of analytical and scanning probe microscopy techniques are presented in detail.

An Overview: Concepts, Units, and the Bohr Atom.- Atomic Collisions and Backscattering Spectrometry.- Energy Loss of Light Ions and Backscattering Depth Profiles.- Sputter Depth Profiles and Secondary Ion Mass Spectroscopy.- Ion Channeling.- Electron-Electron Interactions and the Depth Sensitivity of Electron Spectroscopies.- X-ray Diffraction.- Electron Diffraction.- Photon Absorption in Solids and EXAFS.- X-ray Photoelectron Spectroscopy.- Radiative Transitions and the Electron Microprobe.- Nonradiative Transitions and Auger Electron Spectroscopy.- Nuclear Techniques: Activation Analysis and Prompt Radiation Analysis.- Scanning Probe Microscopy.