Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies)

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Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies)

Gao, Wei

ウェブストア価格 ¥45,534（本体¥41,395）
Elsevier Science Publishing Co Inc（2020/10発売）
外貨定価 US$ 220.00
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 448 p.
言語 ENG
商品コード 9780128178508
DDC分類 620.50287

Full Description

Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication presents state-of-the-art measurement technologies for surface metrology in fabrication of micro- and nanodevices or components. This includes the newest general-purpose scanning probe microscopes, and both contact and non-contact surface profilers. In addition, the book outlines characterization and calibration techniques, as well as in-situ, on-machine, and in-process measurements for micro- and nanofabrication.

1. Noncontact Scanning Electrostatic Force Microscope2. Quartz Tuning Fork Atomic Force Microscope3. Micropipette Ball Probing System4. Low-Force Elastic Beam Surface Profiler5. Linear-Scan Micro Roundness Measuring Machine6. Micro-Gear Measuring Machine7. On-Machine Length Gauge Surface Profiler8. On-Machine Air-Bearing Surface Profiler9. On-Machine Atomic Force Microscope10. On-Machine Roll Profiler11. In-Process Fast Tool Servo Profiler12. Self-Calibration of Prove Tip Radius and Cutting Edge Sharpness