出版社内容情報
監修
大見忠弘、新田雄久 東北大学、日立製作所、UCS半導体基盤技術研究会
大見忠弘 東北大学
執筆者
小宮啓義、福本隼明 三菱電機
新田雄久、富岡秀起、水上浩一郎、榎並弘充 日立製作所
柴田直 東北大学
暮石芳憲、安済範夫 日立製作所
籔本周邦 日本電信電話
国井泰夫 日本電信電話
宮脇守 キヤノン
川辺一郎 橋本化成
森田瑞穂 東北大学
平山昌樹 東北大学
室田淳一、小野昭一 東北大学
中村守孝 富士通
松浦孝、大見忠弘、室田淳一、小野昭一 東北大学
杉山和彦、水口泰光、中村雅一、大木厚志、 大阪酸素工業、東北大学
杉山和彦、中村雅一、大木厚志、中原文生、 大阪酸素工業、東北大学
三木正博 橋本化成
中村雅一、大木厚志、渡邊剛、川田幸司、大 大阪酸素工業、旭電化工業、東北大学
石原良夫 日本酸素
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☆目次
第1部 超高純度ガスの必要性
