超精密生産技術大系 〈第１巻〉 基本技術 河西敏雄

フジ・テクノシステム（1995/10発売）

• サイズ B5判／ページ数 1096／高さ 27cm
• 商品コード 9784938555511

出版社内容情報

■ 監修 ■

　小林　昭／HiMEP研究所所長
　　　　　

　■ 編集代表 ■

　河西　敏雄／埼玉大学工学部教授

　■ 第１巻編集委員長 ■

　河西　敏雄／埼玉大学工学部機械工学科教授

　■ 第１巻編集委員 ■

　宇根　篤暢／ＮＴＴアドバンステクノロジ（株）
　　　　　　　　　 　厚木事業所超精密技術部担当部長
　木下　正治／（株）東芝生産技術研究所薄膜プロセス
　　　　　　　　　　 研究部部長
　河野　嗣男／東京都立科学技術大学工学部機械
　　　　　　　　　　 システム工学科教授

　■ 執筆陣 ■　　120名



第 １ 編　総論
第 ２ 編　超精密切削加工法
第 ３ 編　超精密研削加工法
第 ４ 編　超精密研磨加工法
第 ５ 編　超精密マイクロ加工法
第 ６ 編　超微細パターン加工法
第 ７ 編　精密変形加工法
第 ８ 編　精密接合加工法
第 ９ 編　精密付加・付着加工法
第１０編　精密変質加工法