出版社内容情報
☆序文
近年のコンピュータおよびインターネットによる情報処理および情報通信の発展には目覚ましいものがある。これらに関連する技術は現在でもすさまじい勢いで発展しており, 今後のビジネスや日常生活のスタイルに大きな革新をもたらすであろう。情報処理, 情報通信の基盤技術として, LSIを中心とする集積化技術と光ファイバを中心すると光通信技術があげられる。これら情報／通信にはシリカガラス（俗にいう石英ガラス）が重要な役割を演じている。LSIなどの半導体製造に用いられる装置類には多くのシリカガラスが用いられている。これらは, シリカガラス中の金属不純物が極端に少なく耐熱性にも優れていると言う性質を利用したものである。また, 熱膨張係数が小さいため形状安定性に優れていることからリソグラフィ用のフォトマスクとして用いられている。さらに, 紫外線の透過特性に優れているために, KrFエキシマレーザやArFエキシマレーザーを用いたリソグラフィ工程で用いられるステッパーやマスク材料として欠かせないものとなっている。また, LSIの中で絶縁材料として用いられるシリコン酸化膜もシリカガラスと同様非晶質のシリカである。通信用の光ファイバは, シリカガラスを主材料として用いることによってはじめて長距離の通信が可能となった。近い将来, 家庭まで光ファイバケーブルで結ぶことによりさらに大量の情報を通信できるようになるものと期待されている。純粋に光だけで通信するためには光交換機などの光回路が必要になるが, ここでもシリカガラスが重要な役割を演じるものと考えられる。このように, シリカガラスを中心とするアモルファスシリカは, 情報処理／通信分野で重要な役割を演じているにもかかわらず, 関連分野の技術者でさえその種類, 製造方法, 性質などに関する理解が十分とはいえない。これは, 現状のシリカガラスの性質や応用技術について総合的に解説した書物がないためと考えられる。そこで, シリカガラスの種類, 製法, 性質, 応用技術について各分野のエキスパートに執筆をお願いして世に問うことにした。本ハンドブックはシリカガラスの応用技術者のみならず, シリカガラスに関連した事業を始めようとする企画担当者の役に立つことを意図して編集された。これらの方々の座右となれば幸いである。刊行にあたって, 多くの方々のお世話になった。著者の選定にあたっては編集委員以外の多くの方々のご協力をい
ただいた。また, 本書は多数の著者にお願いしたにもかかわらず, 目次案の提案から1年弱で刊行のはこびとなった。これは, 多忙中にかかわらず執筆いただいた著者の努力およびそれを支えていただいた所属機関の方のご理解があってはじめて可能となったことである。その他, 多くの方々の協力を得た。
編集委員長
川副博司 東京工業大学
編集委員
粟津浩一、大木義路、葛生伸、轟眞市、林瑛 電子技術総合研究所、早稲田大学、福井大学、無機材料研究所、元日本石英、室蘭工業大学
執筆者
葛生伸 福井大学
野村 滋 室蘭工業大学
福田 永 室蘭工業大学
葛生伸 福井大学
新保 優 東芝セラミックス
粟津浩一 電子技術総合研究所
森本幸裕 ウシオ総合技術研究所
粟津浩一 電子技術総合研究所
須藤 一 日本石英
葛生伸 福井大学
西村裕幸 信越石英
藤ノ木朗 信越石英
片岡正篤 信越石英
藤ノ木朗 信越石英
片岡正篤 信越石英
坂口茂樹 日本電信電話
藤原 巧 豊田工業大学大学院
粟津浩一 電子技術総合研究所
葛生伸 電子技術総合研究所
小林比呂志 計量研究所
葛生伸 福井大学工学部
福田永 室蘭工業大学
並河洋 東京理科大学
粟津浩一 電子技術総合研究所
葛生伸 福井大学
葛生伸, 福田永 福井大学, 室蘭工業大学
粟津浩一 電子技術総合研究所
斎藤和也, 垣内田洋, 生嶋明 豊田工業大学
葛生伸 福井大学
滝山真功 ニッテツ電子
宮下明 日本石英硝子
宮坂光敏 セイコーエプソン
重松和政 富士通
吉田直喜 日本石英硝子
佐藤栄治 ニコン
坂口茂樹 日本電信電話
大西正志 住友電気工業
清水誠 日本電信電話
金森弘雄 住友電気工業
芳野俊彦 群馬大学
妻沼孝司 フジクラ
大森保治 日本電信電話
森本幸裕 ウシオ総合技術研究所
吉田國雄 大阪工業大学
葛生伸 福井大学
☆目次
Part 1 非晶質シリカの種類と製造方法
