半導体工場ハンドブック〈２００５〉

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半導体工場ハンドブック〈２００５〉

価格 ¥3,300（本体¥3,000）
産業タイムズ社（2004/12発売）
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サイズｷｶﾞｲ判／ページ数 155p／高さ 28cm
商品コード 9784883531097
NDC分類 549.8
Cコード C3055

第１部　新世代技術に挑む次世代半導体工場（２００４～２００５年半導体業界展望；国内における半導体前工程工場の新増設計画　ほか）
第２部　新技術・材料・プロセスに挑む装置・材料メーカー動向（リソグラフィー技術・装置・材料；フォトマスク技術　ほか）
第３部　工場ルポ２００４次世代デバイスに挑む国内半導体工場（（株）リコーやしろ工場
トレセンティテクノロジーズ（株）　ほか）
第４部　半導体工場分布図・ディレクトリー（半導体工場分布図（地域別）
台湾半導体工場マップ　ほか）