初心者のためのクリーンルーム入門 （第２版）

クリーンテクノロジー編集委員会【編】

日本工業出版（2007/02発売）

• サイズ A5判／ページ数 178p／高さ 21cm
• 商品コード 9784819019033
• NDC分類 528.2
• Cコード C3052

目次

第１章　クリーンルーム設計の予備知識（クリーンルームとは；クリーンルームに使用される構成部材・関連設備；クリーンルーム関連計測器・用品）
第２章　クリーンルームの計画・設計（クリーンルームの計画；クリーンルームの設計）
第３章　クリーンルームの施工（クリーンルーム施工のポイント；クリーンルーム施工の合理化；クリーンルームの安全性）
第４章　クリーンルームの性能評価（クリーンルームに関する規格類；性能評価試験；空気中の分子汚染物質（ＡＭＣ））
第５章　クリーンルームの維持管理（モニタリングと作業者の管理；衣服・清浄化・設備）