クリーンルームにおける停電、瞬時電圧低下現象対策

クリーンテクノロジー編集委員会【編纂】

日本工業出版（2006/03発売）

• サイズ B5判／ページ数 137p／高さ 26cm
• 商品コード 9784819018043
• NDC分類 544.42
• Cコード C3054

目次

対策（停電、瞬時電圧低下現象の実態；半導体製造装置における停電対策；半導体工場の瞬低・停電対策　ほか）
装置（瞬低対策機能付きＮＡＳ電池システム；ＧＴＯ遮断機を用いたＮＡＳ瞬低対策装置；高品質電源供給「ＵＰＳ」ＴＲＩＢＬＯＣＫシステム　ほか）
雷（雷害対策に関連する規格；電圧障害対策機器「低圧回路用アレスタ」；低圧電力回路の直撃雷保護用ＳＰＤ　ほか）