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目次
第１章 ＬＳＩ信頼性保証概論
第２章 トランジスタ系の信頼性
第３章 ＬＳＩ配線の信頼性
第４章 静電気破壊現象
第５章 故障解析
第６章 寿命データ解析
著者等紹介
二川清［ニカワキヨシ］
１９４９年大阪市生まれ。大阪大学大学院基礎工学研究科修士課程修了。工学博士。１９７４年‐２００９年、日本電気（株）他にて半導体の信頼性・故障解析技術の研究開発と実務に従事。現在、大阪大学大学院情報科学研究科特任教授、金沢工業大学大学院工学研究科客員教授、芝浦工業大学工学部非常勤講師
塩野登［シオノノボル］
１９４７年生まれ。東北大学大学院工学研究科修士課程修了、工学博士。ＮＴＴ ＬＳＩ研究所を経て、現在、（財）日本電子部品信頼性センター理事、日本大学大学院理工学研究科電子工学専攻非常勤講師
横川慎二［ヨコガワシンジ］
１９７０年生まれ。電気通信大学大学院修士課程修了。博士（工学）。現在、ルネサスエレクトロニクス（株）、デバイス・解析技術統括部先端デバイス開発第二部チームマネージャー。日本信頼性学会２００３年高木賞、ＩＥＥＥ Ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ Ｓｏｃｉｅｔｙ Ｊａｐａｎ Ｃｈａｐｔｅｒ Ａｗａｒｄｓ ２００７年論文賞、日本信頼性学会第２２回秋季信頼性シンポジウム優秀賞など
福田保裕［フクダヤスヒロ］
１９５３年大阪市生まれ。１９７７年、名古屋工業大学電気工学科卒業、沖電気工業（株）入社、半導体事業部生産技術、メモリ設計、信頼性技術を経て、研究本部プロセス研究部長。２００５年、沖エンジニアリング（株）へ信頼性設計事業部長として転籍。２０１０年サムスン電子ＬＣＤ事業部へ入社。主な静電気破壊研究活動は、１９８３年半導体デバイスの静電気破壊、パッケージ帯電モデル、試験方法の提案
三井泰裕［ミツイヤスヒロ］
１９４４年生まれ。山梨大学大学院工学研究科修士課程修了。工学博士。（株）日立製作所中央研究所、同半導体事業部、（株）日立ハイテクノロジーズにて計測技術研究開発に従事後、現在、半導体デバイス解析コンサルタント。日刊工業新聞十大新製品賞（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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