内容説明
機械加工分野や半導体産業はもとより異業種からも必要とされはじめた真空技術!真空技術の実際と知識がよくわかる。
目次
第1章 真空とはなんだろう
第2章 真空のつくり方
第3章 真空装置
第4章 人のそばにある真空技術
第5章 薄膜の世界
第6章 プラズマの力
第7章 新しい真空の活用
著者等紹介
飯島徹穂[イイジマテツオ]
工学博士。職業能力開発総合大学校東京校教授などを務め、現在も非常勤講師として指導にあたっている。そのほか「やさしく学べる真空技術入門」といった企業向けセミナーの講師なども多数務める(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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