エレクトロニクスシリーズ<br> 半導体製造における洗浄技術

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エレクトロニクスシリーズ
半導体製造における洗浄技術

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  • サイズ B5判／ページ数 232p／高さ 26cm
  • 商品コード 9784781318561
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3054

出版社内容情報

細かな電子回路を作り込むのに必須である半導体表面の清浄化技術。洗浄液、洗浄・クリーン化・乾燥技術、洗浄装置、評価・観察・解析などの章構成で半導体洗浄技術の最新動向に迫る一冊。

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