新材料・新素材シリーズ<br> 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳ、センサ、ＣＭＯＳＬＳＩの融合

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新材料・新素材シリーズ
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳ、センサ、ＣＭＯＳＬＳＩの融合

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  • サイズ B5判／ページ数 279p／高さ 26cm
  • 商品コード 9784781313641
  • NDC分類 549.7
  • Cコード C3053

目次

第１編　総論編
第２編　プロセス技術編
第３編　回路・デバイス設計技術編
第４編　ＮＥＭＳ技術編
第５編　センサ技術編
第６編　ＲＦ‐ＭＥＭＳ技術編
第７編　エネルギーハーベスト技術編
第８編　実装技術編
第９編　解析・評価技術編