CMC TL<br> RF MEMS技術の応用展開 (普及版)

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CMC TL
RF MEMS技術の応用展開 (普及版)

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  • サイズ A5判/ページ数 224p/高さ 21cm
  • 商品コード 9784781304960
  • NDC分類 547.5
  • Cコード C3053

目次

1 総論(MEMS技術の概要;RF MEMS技術の概要)
2 プロセス技術(プロセス基盤技術;RF MEMSのプロセス技術 ほか)
3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術;MEMS構造体のRF設計技術)
4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ;線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール;高効率デュアルバンド増幅器 ほか)

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