目次
1 総論(MEMS技術の概要;RF MEMS技術の概要)
2 プロセス技術(プロセス基盤技術;RF MEMSのプロセス技術 ほか)
3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術;MEMS構造体のRF設計技術)
4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ;線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール;高効率デュアルバンド増幅器 ほか)
-
- 洋書
- Some Heads
1 総論(MEMS技術の概要;RF MEMS技術の概要)
2 プロセス技術(プロセス基盤技術;RF MEMSのプロセス技術 ほか)
3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術;MEMS構造体のRF設計技術)
4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ;線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール;高効率デュアルバンド増幅器 ほか)